激光共聚焦显微镜、扫描电镜、原子力显微镜三者简要区别和系统关联最新进展

激光共聚焦显微镜，扫描电镜，原子力显微镜是目前科研领域用的比较多的成像系统。近年来，随着技术的不断发展，各种系统关联应用成为一个趋势，本文简单整理一下各种显微镜的区别及关联进展情况。

一、极限分辨率不同, 缘于放大信号源的差异

  原子力显微镜：极限分辨率0.1nm，采用杠杆放大激光测距成像！扫描针尖的曲率半径决定分辨率。

二、扫描驱动方式不同

  原子力显微镜：计算机控制的压电位移传感器驱动样品台X,Y 方向扫描，实现扫描范围和扫描速度调控，从而改变放大倍数和图像质量。

三、立体成像的差别

  原子力显微镜：成像的本质就是测量表面每个像素点的高低，描绘出立体形貌。所以每个像素Z方向的数据必须是精确的，否则形貌不准确。传统采用管式驱动器，X/Y方向摇摆扫描，造成图像失真，再现性差。最新的采用独立X、Y扫描驱动器，形貌精确。

四、工作环境差别

  一般扫描电镜必须在高真空环境下进行测试样品

五、应用范围差别

    原子力显微镜：几万倍~几千万倍， 要求样品非常平坦，样品制备很难。例如A4纸过于粗糙，      无法观测。