真空电阻炉分类
真空电阻炉由于结构上的特点,多数都做成间歇作业式,只有在个别情况下,才有可能做成连续作业式的。
真空电阻炉按工作真空度的不同,可以分做低真空(1~1x10-1毫米水银柱)、中度真空(1x10-1-~1x10-4毫米水银柱)和高真空(1x10-4-~1x10-6毫米水银柱)三类。也有少数特殊用途的电阻炉做成超高真空(1x10-6毫米水银柱以上)的。
按工作温度来分,真空电阻炉和一般电阻炉一样,可以分做低温(700℃以下)、中温(700~1250℃)和高温(1250℃以上到3000℃)三类。
电炉的真空系统有很多种。低真空电阻炉一般只用机械真空泵抽气;中度真空电阻炉则用油增压泵或机械增压泵(罗茨泵)和机械真空泵串联抽气;而高真空电阻炉则用高真空扩散泵和机械真空泵,有时在两者之间再加上增压泵串联抽气。超高真空炉则还用离子泵、钛泵等。
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